保持清潔度的構造并且高性能
通過保持清潔度的各種構造[●承載架內正常化●防止粉塵侵入無塵室等]、抑制對搬運物體沖擊的構造[●承載架上升/下降構造●采用伺服電動機等],可以保持無塵室各樓層間的清潔度,同時安靜輕柔地自動搬運。
雖然能力因搬運物體尺寸和速度等條件而異,但是在升降速度每分鐘300m的規格下搬運行程為30m時,可發揮每小時120個以上的高性能。
※標準升降速度:100、200、300m/分鐘
※裝載機搬運速度:30m/分鐘
※FOUP2個搬運規格
搬運方向自由隨意
搬運方向有格口單向(E形式)和格口前后雙向(F形式),可構筑立體且高效的流水線布局。如果是F形式,因是兩側自動門類型,故搬運能力會有若干變化。
搬運方向自由隨意
●最大搬運物品尺寸、重量
W430×L740×H340mm/~30kg(FOUPP2個搬運規格)
※無蓋小型箱盒搬運的場合請咨詢。

抑制粉塵、省空間設計+低沖擊
將主體動力組件設置在下部的構造,避免上部產生粉塵,并且主體也為外形尺寸更小的節約空間設計。此外,從裝載機移載時的沖擊也由于承載架上升下降構造因而控制在0.4G以內。
※上升高度:即垂直方向的搬運行程,是指安裝樓層搬運物品載重高度至上部樓層搬運物載重高度的距離。
※升降速度:與顯示數值的誤差范圍在±10%以內。
●計算條件:
最大搬運物品尺寸W430×L740×H340mm
裝載機搬運速度:30m/分鐘
單側自動門規格

獨有結構+低沖擊
憑借使用3條鏈條維持托盤水平狀態的獨有結構,確保裝載機可上下移動的空間。憑借與托盤動作同步裝載機上下移動的構造,實現了移載時的沖擊控制在0.4G以內的連續搬運。
●升降速度:6.1m/分鐘
●裝載機搬運速度:30m/分鐘
●單側自動門

● 裝載機(帶上、下移動裝置)

● 上部FFU

● 無塵輥式輸送機

● 循環托盤